Microelectromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece.
NORM herausgegeben am 1.8.2004
Bezeichnung normen: E DIN IEC 62047-3:2004-08
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.8.2004
Zahl der Seiten: 10
Gewicht ca.: 30 g (0.07 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe.