E DIN IEC 62047-4:2006-09

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS.

NORM herausgegeben am 1.9.2006

Englisch und Deutsch -
Elektronische PDF (111.40 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: E DIN IEC 62047-4:2006-09
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.9.2006
Zahl der Seiten: 53
Gewicht ca.: 159 g (0.35 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes E DIN IEC 62047-4:2006-09 :

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Bauteile der Mikrosystemtechnik.