
Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
NORM herausgegeben am 19.2.1992
Bezeichnung normen: GB/T 13388-1992
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 19.2.1992
Land: Chinesische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GB