Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
NORM herausgegeben am 6.2.1993
Bezeichnung normen: GB/T 14141-1993
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 6.2.1993
Land: Chinesische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GB