GB/T 14141-2009

Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array

NORM herausgegeben am 30.10.2009

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The information about the standard:

Designation standards: GB/T 14141-2009
Publication date standards: 30.10.2009
Country: Chinese technical standard
Kategorie: Technische Normen GB