GB/T 16878-1997

Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture

NORM herausgegeben am 20.6.1997

English, Chinesisch -
Elektronische PDF (410.20 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: GB/T 16878-1997
Ausgabedatum normen: 20.6.1997
Land: Chinesische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GB