Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
NORM herausgegeben am 22.12.1997
Bezeichnung normen: GB/T 17169-1997
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 22.12.1997
Land: Chinesische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GB