GB/T 24578-2009

Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-ray fluorescence spectroscopy

NORM herausgegeben am 30.10.2009

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: GB/T 24578-2009
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 30.10.2009
Land: Chinesische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GB