Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
NORM herausgegeben am 10.12.2015
Bezeichnung normen: GB/T 24578-2015
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2015
Land: Chinesische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GB