GB/T 26070-2010

Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method

NORM herausgegeben am 10.1.2011

English, Chinesisch -
Elektronische PDF (337.50 EUR)

English, Chinesisch -

Gedruckt (337.50 EUR)

The information about the standard:

Designation standards: GB/T 26070-2010
Publication date standards: 10.1.2011
Country: Chinese technical standard
Kategorie: Technische Normen GB