GB/T 28275-2012

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

NORM herausgegeben am 11.5.2012

English, Chinesisch -
Elektronische PDF (266.90 EUR)

The information about the standard:

Designation standards: GB/T 28275-2012
Publication date standards: 11.5.2012
Country: Chinese technical standard
Kategorie: Technische Normen GB