GB/T 29844-2013

Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy

NORM herausgegeben am 12.11.2013

English, Chinesisch -
Elektronische PDF (271.80 EUR)

The information about the standard:

Designation standards: GB/T 29844-2013
Publication date standards: 12.11.2013
Country: Chinese technical standard
Kategorie: Technische Normen GB