
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias
NORM herausgegeben am 25.5.2026
Bezeichnung normen: GB/T 47725-2026
Anmerkung: Execute Date: december 2026
Ausgabedatum normen: 25.5.2026
Land: Chinesische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GB