
Measurement method for topographic parameters of high-aspect-ratio microstructures utilize microscopic interferometry
NORM herausgegeben am 28.8.2026
Bezeichnung normen: GB/T 48095-2026
Anmerkung: Execute Date: march 2027
Ausgabedatum normen: 28.8.2026
Land: Chinesische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GB