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IEC 62047-32-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 32: Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators

NORM herausgegeben am 24.1.2019

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: IEC 62047-32-ed.1.0
Ausgabedatum normen: 24.1.2019
Zahl der Seiten: 37
Gewicht ca.: 111 g (0.24 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen IEC

Die Annotation des Normtextes IEC 62047-32-ed.1.0 :

IEC 62047-32:2019 specifies the test method and test condition for the nonlinear vibration of MEMS resonators. The statements made in this document apply to the development and manufacture for MEMS resonators. L’IEC 62047-32:2019 specifie la methode d’essai et les conditions d’essai pour la vibration non lineaire des resonateurs MEMS. Les enonces du present document s’appliquent au developpement et a la fabrication des resonateurs MEMS.