IEC/TR 63258-ed.1.0

Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films

NORM herausgegeben am 19.3.2021

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: IEC/TR 63258-ed.1.0
Ausgabedatum normen: 19.3.2021
Gewicht ca.: 300 g (0.66 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen IEC

Die Annotation des Normtextes IEC/TR 63258-ed.1.0 :

IEC TR 63258:2021 is a Technical Report focused on the practical protocol of ellipsometry to evaluate the thickness of nanoscale films. This document does not include any specification of the ellipsometers, but suggests how to minimize the data variation to improve data reproducibility.