
Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices -- Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
NORM herausgegeben am 23.3.2020
Bezeichnung normen: JIS C5630-30:2020
Ausgabedatum normen: 23.3.2020
Zahl der Seiten: 16
Gewicht ca.: 48 g (0.11 Pfund)
Land: Sonstige Normen
Kategorie: Technische Normen JIS