JIS K0148:2026

Surface chemical analysis-Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

NORM herausgegeben am 20.1.2026

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: JIS K0148:2026
Ausgabedatum normen: 20.1.2026
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Sonstige Normen
Kategorie: Technische Normen JIS