Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 12: Skúšobné metódy tenkovrstvových materiálov na namáhanie ohýbaním s využitím rezonančnej vibrácie štruktúr MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORM herausgegeben am 1.3.2012
Bezeichnung normen: STN EN 62047-12
Zeichen: 358792
Katalog-Nummer: 114772
Ausgabedatum normen: 1.3.2012
Gewicht ca.: 36 g (0.08 Pfund)
Land: Slowakische technische Norm
Kategorie: Technische Normen STN