Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 13: Typy skúšobných metód ohybom a strihom na merania adhéznych síl pri štruktúrach MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORM herausgegeben am 1.8.2012
Bezeichnung normen: STN EN 62047-13
Zeichen: 358792
Katalog-Nummer: 115738
Ausgabedatum normen: 1.8.2012
Gewicht ca.: 30 g (0.07 Pfund)
Land: Slowakische technische Norm
Kategorie: Technische Normen STN