STN EN 62047-16 (358792)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films ÔÇô Wafer curvature and cantilever beam deflection methods

NORM herausgegeben am 1.12.2015

Englisch -
Gedruckt (AUF ANFRAGE)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: STN EN 62047-16
Zeichen: 358792
Katalog-Nummer: 121888
Ausgabedatum normen: 1.12.2015
Gewicht ca.: 30 g (0.07 Pfund)
Land: Slowakische technische Norm
Kategorie: Technische Normen STN