
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
NORM herausgegeben am 1.12.2015
Bezeichnung normen: STN EN 62047-17
Zeichen: 358792
Katalog-Nummer: 121889
Ausgabedatum normen: 1.12.2015
Gewicht ca.: 51 g (0.11 Pfund)
Land: Slowakische technische Norm
Kategorie: Technische Normen STN