Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 13: Typy skúšobných metód ohybom a strihom na merania adhéznych síl pri štruktúrach MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORM herausgegeben am 1.8.2012
Designation standards: STN EN 62047-13
Classification mark: 358792
Catalog number: 115738
Publication date standards: 1.8.2012
Approximate weight : 30 g (0.07 lbs)
Country: Slovak technical standard
Kategorie: Technische Normen STN