Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement.
NORM herausgegeben am 1.2.2020
Bezeichnung normen: VDI/VDE 2655Blatt1.3
Ausgabedatum normen: 1.2.2020
Zahl der Seiten: 50
Gewicht ca.: 150 g (0.33 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen VDI
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung.