Determination of geometrical quantities by using of Scanning Probe Microscopes - Calibration of measurement systems.
NORM herausgegeben am 1.6.2008
Designation standards: VDI/VDE 2656Blatt1
Note: UNGÜLTIG
Publication date standards: 1.6.2008
The number of pages: 82
Approximate weight : 277 g (0.61 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen VDI
Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen.