Determination of geometrical quantities by using of scanning probe microscopes - Calibration of measurement systems.
NORM herausgegeben am 1.9.2019
Bezeichnung normen: VDI/VDE 2656Blatt1
Ausgabedatum normen: 1.9.2019
Zahl der Seiten: 81
Gewicht ca.: 274 g (0.60 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen VDI
Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen.