
Mask engineering; masks for integrated optics.
NORM herausgegeben am 1.3.1993
Bezeichnung normen: VDI/VDE 3717Blatt10
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.3.1993
Zahl der Seiten: 10
Gewicht ca.: 30 g (0.07 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen VDI
Maskentechnik; Maskentechnik für die Integrierte Optik.