ISO 14237:2010-ed.2.0

Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

NORM herausgegeben am 9.7.2010

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The information about the standard:

Designation standards: ISO 14237:2010-ed.2.0
Publication date standards: 9.7.2010
The number of pages: 19
Approximate weight : 57 g (0.13 lbs)
Country: International technical standard
Kategorie: Technische Normen ISO