ÖNORM EN ISO 14644-10

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)

NORM herausgegeben am 15.10.2022

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The information about the standard:

Designation standards: ÖNORM EN ISO 14644-10
Publication date standards: 15.10.2022
The number of pages: 40
Approximate weight : 120 g (0.26 lbs)
Country: Austrian technische Norm
Kategorie: Technische Normen ÖNORM

Annotation of standard text ÖNORM EN ISO 14644-10 :

Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen anwendbar, wie z.B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsflächen, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.