
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration (ISO 14644-15:2017)
NORM herausgegeben am 1.4.2018
Designation standards: ÖNORM EN ISO 14644-15
Publication date standards: 1.4.2018
The number of pages: 29
Approximate weight : 87 g (0.19 lbs)
Country: Austrian technische Norm
Kategorie: Technische Normen ÖNORM
Dieses Dokument enthält Anforderungen und Richtlinien zur Bewertung der chemischen luftgetragenen Reinheit von Ausrüstungsgegenständen und Materialien, die für den Gebrauch in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen vorgesehen sind, die mit der ISO-Norm für Reinheitsklassen anhand der chemischen Konzentration (siehe ISO 14644-8) zusammenhängen. Die folgenden Bereiche werden von diesem Dokument nicht abgedeckt: - Gesundheits- und Sicherheitsanforderungen; - Kompatibilität mit Reinigungsmitteln und -techniken; - Reinigungsfähigkeit; - Biokontamination; - bestimmte Anforderungen an Ausrüstungsgegenstände und Materialien für Prozesse und Produkte; - Konstruktionsdetails der Ausrüstungsgegenstände.