Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)
NORM herausgegeben am 15.2.2023
Designation standards: ÖNORM EN ISO 23131
Publication date standards: 15.2.2023
The number of pages: 22
Approximate weight : 66 g (0.15 lbs)
Country: Austrian technische Norm
Kategorie: Technische Normen ÖNORM
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-VIS-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at-line-Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung und der Materialentwicklung durch akkreditierte Prüflaboratorien fest. Es ist anwendbar für stand-alone-Messsysteme. Die Darstellung der Ergebnisunsicherheit entspricht dem ISO/IEC Guide 98-3.