Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (Endorsed by AENOR in November of 2013.)
NORM herausgegeben am 1.11.2013
Bezeichnung normen: UNE-EN 62047-11:2013
Ausgabedatum normen: 1.11.2013
Zahl der Seiten: 23
Gewicht ca.: 69 g (0.15 Pfund)
Land: Spanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen UNE