Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (Endorsed by AENOR in February of 2012.)
NORM herausgegeben am 1.2.2012
Bezeichnung normen: UNE-EN 62047-12:2011
Ausgabedatum normen: 1.2.2012
Zahl der Seiten: 33
Gewicht ca.: 99 g (0.22 Pfund)
Land: Spanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen UNE