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ASTM E1634-02
Standard Guide for Performing Sputter Crater Depth Measurements
Automatische name übersetzung:
Standard-Leitfaden für Darstellende Sputterkraters Tiefenmessungen
NORM herausgegeben am 10.4.2002
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ASTM E1634-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.4.2002
SKU: NS-42451
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Die Annotation des Normtextes ASTM E1634-02 :
Keywords:
Auger electron spectroscopy, secondary ion mass spectrometry, stylus profilometry, surface analysis , x-ray photoelectron spectroscopy, ICS Number Code 71.040.50 (Physicochemical methods of analysis)
Ergänzende Informationen
| 1. Scope | ||
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1.1 This guide covers the preferred procedure for acquiring and post-processing of sputter crater depth measurements. This guide is limited to stylus-type surface profilometers equipped with a stage, stylus, associated scan and sensing electronics, video system for sample and scan alignment, and computerized system. 1.2 This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use. |
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| 2. Referenced Documents | ||
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