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Terminology Relating to Measurements Taken on Thin, Reflecting Films (Includes all amendments And changes 5/28/2018).
Automatische name übersetzung:
Terminologie Im Zusammenhang mit Messungen an dünn, Reflektierende Folien
NORM herausgegeben am 15.10.2011
Bezeichnung normen: ASTM E2444-11e1
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 15.10.2011
SKU: NS-45312
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Electronics (Vocabularies)Mechanical structures for electronic equipment
Keywords:
cantilevers, definitions, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, terminology, test structure, ICS Number Code 01.040.31 (Electronics (Vocabularies)), 31.240 (Mechanical structures for electronic equipment)
1. Scope | ||||||||
1.1 This standard consists of terms and definitions pertaining to measurements taken on thin, reflecting films, such as found in microelectromechanical systems (MEMS) materials. In particular, the terms are related to the standards in Section , which were generated by Committee E08 on Fatigue and Fracture. Terminology E 1823 Relating to Fatigue and Fracture Testing is applicable to this standard. 1.2 The terms are listed in alphabetical order. |
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2. Referenced Documents | ||||||||
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1.1.1982
1.7.1992
1.1.1984
1.1.1991
1.1.1985
1.1.1989
Bereitstellung von aktuellen Informationen über legislative Vorschriften in der Sammlung der Gesetze bis zum Jahr 1945.
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Letzte Aktualisierung: 2024-05-02 (Zahl der Positionen: 2 896 910)
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