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ASTM F1238-95(2003)
Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications
Automatische name übersetzung:
Standard-Spezifikation für Feuerfest- Silizid Sputtertargets für mikroelektronische Anwendungen
NORM herausgegeben am 10.12.1999
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ASTM F1238-95(2003)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.1999
SKU: NS-49600
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Die Annotation des Normtextes ASTM F1238-95(2003) :
Keywords:
density, microelectronics, molybdenum, disilicide, refractory silicides, sputtering, sputtering targets, tantalum disilicide, titanium disilicide, tungsten disilicide, ICS Number Code 31.100 (Electronic tubes)
Ergänzende Informationen
| 1. Scope |
|
1.1 This specification covers sputtering targets fabricated from metallic silicides (molybdenum silicide, tantalum silicide, titanium silicide, and tungsten silicide). These targets are referred to as refractory silicide targets, and are intended for use in microelectronic applications. 1.2 The values stated in SI units are regarded as standard. |
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