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ASTM F1367-98
Standard Specification for Chromium Sputtering Targets for Thin Film Applications
Automatische name übersetzung:
Standard-Spezifikation für Chromium Sputtertargets für Dünnschichtanwendungen
NORM herausgegeben am 10.8.1998
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ASTM F1367-98
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.8.1998
SKU: NS-50056
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Die Annotation des Normtextes ASTM F1367-98 :
Keywords:
Chromium, Chromium sputtering targets, Sputtering, Targets, chromium sputtering targets for thin film applications, test, ICS Number Code 25.220.40 (Metallic coatings)
Ergänzende Informationen
| 1. Scope | ||
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1.1 This specification covers sputtering targets fabricated from chromium metal. 1.2 This specification sets purity grade levels, physical attributes, analytical methods and packaging requirements. 1.3 The values stated in SI units are regarded as standard. |
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| 2. Referenced Documents | ||
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