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ASTM F1513-99
Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications
Automatische name übersetzung:
Standard-Spezifikation für Reinstaluminium ( Un- ) Ausgangsmaterial für elektronische Dünnschicht- Anwendungen
NORM herausgegeben am 10.12.1999
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ASTM F1513-99
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.1999
SKU: NS-50591
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Die Annotation des Normtextes ASTM F1513-99 :
Keywords:
aluminum, coating, evaporation, sputtering, targets, thin films, vacuum coating, ICS Number Code 31.200 (Integrated circuits. Microelectronics)
Ergänzende Informationen
| 1. Scope | ||
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1.1 This specification covers pure aluminum metal (unalloyed) for use in evaporation sources and sputtering targets. This material is intended as a raw material for electronic applications. The material is used as-supplied in some cases (for example, as e-beam evaporation sources). In other instances it may be remelted, alloyed, cast and processed by the purchaser to make finished products (for example, sputtering targets). 1.2 This specification sets purity grade levels, physical attributes, analytical methods, and packaging. 1.3 The values stated in SI units are to be regarded as the standard. The values given in parentheses are for information only. |
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| 2. Referenced Documents | ||
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