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ASTM F154-02
Standard Guide for Identification of Structures and Contaminants Seen on Specular Silicon Surfaces (Withdrawn 2003)
Automatische name übersetzung:
Standard-Leitfaden zur Identifizierung von Strukturen und Verunreinigungen auf Specular Siliziumoberflächen gesehen (Withdrawn 2003)
NORM herausgegeben am 10.1.2001
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ASTM F154-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.1.2001
SKU: NS-50669
Zahl der Seiten: 13
Gewicht ca.: 39 g (0.09 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Die Annotation des Normtextes ASTM F154-02 :
Keywords:
contaminant, defects, dislocation, epitaxial, fracture, preferential etch, scratch, shallow pit, silicon, slip, stacking fault, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)
Ergänzende Informationen
| 1. Scope |
|
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 2003 1.1 The purpose of this guide is to list, illustrate, and provide reference for various characteristic features and contaminants that are seen on highly specular silicon wafers. Recommended practices for delineation and observation of these artifacts are referenced. The artifacts described in this guide are intended to parallel and support the content of the SEMI M18. These artifacts and common synonyms are arranged alphabetically in Tables 1 and 2 and illustrated in Figs. 1-68 . |
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