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Standard Test Method for Trace Metallic Impurities in Electronic Grade Aluminum by High Mass-Resolution Glow-Discharge Mass Spectrometer
Automatische name übersetzung:
Standard Test Method for Trace metallische Verunreinigungen in elektronische Grad-Aluminium durch High Mass - Resolution Glow -Discharge -Massenspektrometer
NORM herausgegeben am 10.6.1997
Bezeichnung normen: ASTM F1593-97
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.1997
SKU: NS-50854
Zahl der Seiten: 6
Gewicht ca.: 18 g (0.04 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
aluminum, electronics, glow discharge mass spectrometer (GDMS), purity analysis, sputtering target, trace metallic impurities
1. Scope | ||||||||
1.1 This test method covers measuring the concentrations of trace metallic impurities in high purity aluminum. 1.2 This test method pertains to analysis by magnetic-sector glow discharge mass spectrometer (GDMS). 1.3 The aluminum matrix must be 99.9 weight % (3N-grade) pure, or purer, with respect to metallic impurities. There must be no major alloy constituent, for example, silicon or copper, greater than 1000 weight ppm in concentration. 1.4 This test method does not include all the information needed to complete GDMS analyses. Sophisticated computer-controlled laboratory equipment skillfully used by an experienced operator is required to achieve the required sensitivity. This test method does cover the particular factors (for example, specimen preparation, setting of relative sensitivity factors, determination of sensitivity limits, etc.) known by the responsible technical committee to affect the reliability of high purity aluminum analyses. |
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2. Referenced Documents | ||||||||
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Letzte Aktualisierung: 2025-07-07 (Zahl der Positionen: 2 207 474)
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