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ASTM F1709-97
Standard Specification for High Purity Titanium Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications
Automatische name übersetzung:
Standard-Spezifikation für High Purity Titanium Sputtertargets für elektronische Dünnschicht- Anwendungen
NORM herausgegeben am 1.1.1996
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ASTM F1709-97
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.1996
SKU: NS-51257
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Die Annotation des Normtextes ASTM F1709-97 :
Keywords:
ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices)
Ergänzende Informationen
| 1. Scope | ||
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1.1 This specification covers pure titanium sputtering targets used as a raw material in fabricating semiconductor electronic devices. 1.2 This standard sets purity grade levels, physical attributes, analytical methods, and packaging. |
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| 2. Referenced Documents | ||
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