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Standard Specification for High Purity Titanium Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications
Automatische name übersetzung:
Standard-Spezifikation für High Purity Titanium Sputtertargets für elektronische Dünnschicht- Anwendungen
NORM herausgegeben am 10.12.2002
Bezeichnung normen: ASTM F1709-97(2002)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
SKU: NS-51255
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
coating, sputtering, target, thin film, titanium, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices)
1. Scope | ||
1.1 This specification covers pure titanium sputtering targets used as a raw material in fabricating semiconductor electronic devices. 1.2 This standard sets purity grade levels, physical attributes, analytical methods, and packaging. 1.2.1 The grade designation is a measure of total metallic impurity content. The grade designation does not necessarily indicate suitability for a particular application because factors other than total metallic impurity may influence performance. |
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2. Referenced Documents | ||
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Letzte Aktualisierung: 2025-07-07 (Zahl der Positionen: 2 207 474)
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