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Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems.
Automatische name übersetzung:
Halbleitervorrichtungen. Mikro-elektromechanische Vorrichtungen. Prüfverfahren für die Koeffizienten der linearen thermischen Ausdehnung des freistehenden Materialien für mikroelektromechanische Systeme
NORM herausgegeben am 31.10.2013
Bezeichnung normen: BS EN 62047-11:2013
Ausgabedatum normen: 31.10.2013
SKU: NS-98846
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 580 69448 6 Status: Definitive
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Letzte Aktualisierung: 2026-10-29 (Zahl der Positionen: 2 208 109)
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