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Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures.
Automatische name übersetzung:
Halbleitervorrichtungen. Mikro-elektromechanische Vorrichtungen. Biegewechseltestverfahren von Dünnfilmmaterialien mit Resonanzschwingung der MEMS-Strukturen
NORM herausgegeben am 30.11.2011
Bezeichnung normen: BS EN 62047-12:2011
Ausgabedatum normen: 30.11.2011
SKU: NS-98847
Zahl der Seiten: 34
Gewicht ca.: 102 g (0.22 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 580 76301 4 Status: Definitive
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Letzte Aktualisierung: 2026-10-29 (Zahl der Positionen: 2 208 109)
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