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BS EN 62047-16:2015
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test methods for determining residual stresses of MEMS films. Wafer curvature and cantilever beam deflection methods.
Automatische name übersetzung:
Halbleitervorrichtungen. Mikro- elektromechanische Vorrichtungen. Prüfverfahren zur Bestimmung der Eigenspannungen von MEMS- Filme. Wafer Krümmung und Auslegerstrahlablenkungsmethoden
NORM herausgegeben am 31.7.2015
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: BS EN 62047-16:2015
Ausgabedatum normen: 31.7.2015
SKU: NS-611421
Zahl der Seiten: 18
Gewicht ca.: 54 g (0.12 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
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Die Annotation des Normtextes BS EN 62047-16:2015 :
ISBN: 978 0 580 78080 6 Status: Definitive
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