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Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices. Procedure for identifying and evaluating defects using a combined method of optical inspection and photoluminescence.
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NORM herausgegeben am 7.9.2022
Bezeichnung normen: BS IEC 63068-4:2022
Ausgabedatum normen: 7.9.2022
SKU: NS-1072128
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 539 18417 4 Status: Definitive
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Letzte Aktualisierung: 2026-11-04 (Zahl der Positionen: 2 209 068)
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