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BS ISO 14706:2000
Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy.
Automatische name übersetzung:
Chemische Oberflächenanalyse. Bestimmung der Oberflächen elementaren Verunreinigungen an Silizium-Wafern durch Totalreflexions -Röntgenfluoreszenz ( TXRF ) -Spektroskopie
NORM herausgegeben am 15.5.2001
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: BS ISO 14706:2000
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 15.5.2001
SKU: NS-110649
Zahl der Seiten: 32
Gewicht ca.: 96 g (0.21 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
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