ČSN EN 62047-25 (358775)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area

Name übersetzen

NORM herausgegeben am 1.4.2017


Sprache
Realisierung
ZugänglichkeitAUF LAGER
Preis14.00 ohne MWS
14.00

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-25
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 502144
Ausgabedatum normen: 1.4.2017
SKU: NS-678831
Zahl der Seiten: 36
Gewicht ca.: 108 g (0.24 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN

Kategorie - ähnliche Normen:

Other semiconductor devices

Die Annotation des Normtextes ČSN EN 62047-25 (358775):

Tato norma specifikuje zkušební metodu in-situ (na místě) založenou na vzorových technikách k měření přilnavosti mikrooblastí, které jsou vyrobeny mikroobráběcí technologií, která se využívá v mikroelektromechanických systémech (MEMS) na bázi křemíku. Norma je použitelná k měření pevnosti při namáhání tah-tlak a ve smyku pro mikrooblast připojení, vyrobených mikroelektronickými technologickými procesy a dalšími mikroobráběcími technologiemi. Mikro ukotvení, upevněné na substrátu pomocí mikrooblasti připojení, poskytuje mechanickou podporu pohyblivé snímací/ovládací funkční komponentě v součástkách MEMS. Se stárnutím součástek se stává závažnější degradace pevnosti připojení vlivem defektů, nečistot a nerovnoměrným tepelným namáháním na připojovací ploše. Norma nepotřebuje složité přístroje (jako je mikroskopie skenovací sondou a zhotovování nano-zářezů) a to ani k přípravě zkušebního vzorku. Vzhledem k tomu, že zkušební sestava uvedená v této normě může být implantována při zhotovení zařízení jako standardní detekční vzor, může tento dokument poskytnout most, na jehož základě může výrobce návrhářům poskytnout nějaké kvantitativní reference

Empfehlungen:

Aktualisierung der Gesetze

Wollen Sie sich sicher sein, dass Sie nur die gültigen technischen Vorschriften verwenden?
Wir bieten Ihnen Lösungen, damit Sie immer nur die gültigen (aktuellen) legislativen Vorschriften verwenden könnten.
Brauchen Sie mehr Informationen? Sehen Sie sich diese Seite an.




Cookies Cookies

Wir benötigen Ihre Einwilligung zur Verwendung der einzelnen Daten, damit Sie unter anderem Informationen zu Ihren Interessen einsehen können. Klicken Sie auf "OK", um Ihre Zustimmung zu erteilen.

Sie können die Zustimmung verweigern hier.

Hier können Sie Ihre Cookie-Einstellungen nach Ihren Wünschen anpassen.

Wir benötigen Ihre Einwilligung zur Verwendung der einzelnen Daten, damit Sie unter anderem Informationen zu Ihren Interessen einsehen können.