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ČSN EN 62047-26 (358775)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures
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NORM herausgegeben am 1.8.2016
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-26
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 500478
Ausgabedatum normen: 1.8.2016
SKU: NS-643553
Zahl der Seiten: 40
Gewicht ca.: 120 g (0.26 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Kategorie - ähnliche Normen:
Semiconductor devices in generalElectromechanical components in general
Die Annotation des Normtextes ČSN EN 62047-26 (358775):
Tato norma specifikuje popisy struktur zářezů a jehel v mikrometrovém měřítku. Dále poskytuje příklady měření pro geometrii obou struktur. Norma platí pro struktury zářezů s hloubkou od 1 µm do 100 µm, stěnami a zářezy s příslušnými šířkami od 5 µm do 150 µm a poměrem (hloubky zářezu k šířce zářezu) 0,006 7 až 20 a dále pro jehlové struktury se třemi nebo čtyřmi plochami s výškou, vodorovnou a svislou šířkou 2 µm nebo větší a s rozměry, které se vejdou do krychle o straně 100 µm. Norma platí pro navrhování konstrukcí MEMS a pro geometrické hodnocení po procesech zhotovení MEMS
Normansicht ČSN EN 62047-26 (358775)
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