Cookies
Wir benötigen Ihre Einwilligung zur Verwendung der einzelnen Daten, damit Sie unter anderem Informationen zu Ihren Interessen einsehen können. Klicken Sie auf "OK", um Ihre Zustimmung zu erteilen.
ČSN EN 62047-26 (358775)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures
Name übersetzen
NORM herausgegeben am 1.8.2016
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-26
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 500478
Ausgabedatum normen: 1.8.2016
SKU: NS-643553
Zahl der Seiten: 40
Gewicht ca.: 120 g (0.26 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Kategorie - ähnliche Normen:
Semiconductor devices in generalElectromechanical components in general
Die Annotation des Normtextes ČSN EN 62047-26 (358775):
Tato norma specifikuje popisy struktur zářezů a jehel v mikrometrovém měřítku. Dále poskytuje příklady měření pro geometrii obou struktur. Norma platí pro struktury zářezů s hloubkou od 1 µm do 100 µm, stěnami a zářezy s příslušnými šířkami od 5 µm do 150 µm a poměrem (hloubky zářezu k šířce zářezu) 0,006 7 až 20 a dále pro jehlové struktury se třemi nebo čtyřmi plochami s výškou, vodorovnou a svislou šířkou 2 µm nebo větší a s rozměry, které se vejdou do krychle o straně 100 µm. Norma platí pro navrhování konstrukcí MEMS a pro geometrické hodnocení po procesech zhotovení MEMS
