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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
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NORM herausgegeben am 1.8.2026
Bezeichnung normen: ČSN EN ISO 14644-14
Zeichen: 125301
Katalog-Nummer: 523937
Ausgabedatum normen: 1.8.2026
SKU: NS-1278503
Zahl der Seiten: 36
Gewicht ca.: 108 g (0.24 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
This document specifies a methodology to assess the suitability of equipment (e.g. machinery, measuring equipment, process equipment, components and tools) for use in cleanrooms and associated controlled environments, with respect to airborne particle cleanliness as specified in ISO 14644-1. Particle sizes range from 0,1 µm to equal to or larger than 5 µm (given in ISO 14644-1)
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Letzte Aktualisierung: 2026-10-27 (Zahl der Positionen: 2 208 060)
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